產(chǎn)品功能
可進(jìn)行去膠渣、表面清潔、活化、改善、接枝或粗糙化等。
產(chǎn)品特點(diǎn)
高密度等離子源,等離子效率高,減少制程時(shí)間;
專利設(shè)計(jì)之特殊等離子電極;
特殊之氣體進(jìn)氣、擴(kuò)散及抽氣系統(tǒng)設(shè)計(jì);
處理之均勻性佳;
等離子均勻性佳;
可使用多種制程氣體;
全自動(dòng)且容易操作;
設(shè)備穩(wěn)定高,容易維護(hù);
可根據(jù)客戶需求設(shè)計(jì)專用特殊規(guī)格之機(jī)臺(tái)。
相關(guān)解決方案
PCB、FPC/PCB, FPC, etc.
印刷或黏著前之表面粗化或清潔。
項(xiàng)目 | PD06 |
機(jī)臺(tái)尺寸 | 2000(W)*2100(D)*2626(H)mm |
腔體尺寸 | 1100(W)*1480(D)*1220(H)mm |
腔體材質(zhì) | 不銹鋼體+鋁腔體門 |
電極 | 水冷電極 |
處理能力 | PCB: 28片(20"*24"),可移動(dòng)式夾具 |
電源供應(yīng)器 | 10KWatts |
流量計(jì) | 標(biāo)準(zhǔn)四顆(N2, O2, CF4, Ar) 選配一顆 |
壓力計(jì) | 760~10-3torr |
真空幫浦 | 干式幫浦+魯式幫浦 |
冰水機(jī) | |
溫度監(jiān)測(cè)系統(tǒng) | |
臺(tái)車 |